潔凈室靜電控制該如何控制

1、靜電控制的基本原則

（1）確定靜電控制級別

（2）盡量減少靜電荷的產生

（3）泄放和中和的辦法加速靜電荷消散，防止靜電積累

（4）保護產品不受ESD的損壞

2、確定靜電控制的級別

（1）元器件、組件和設備靜電敏感度分級

1級：易遭受0-1999V靜電電壓損壞的

2級：易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的

3級：易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的

而敏感靜電壓大于16000V的，便不必采取防靜電措施。

（2）靜電防護工作區的分級

A級：允許對地靜電電位不超過±100V

B級：允許對地靜電電位不超過±1000V

實際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應元器件、組件和設備靜電敏感電壓的3級。

3、盡量減小靜電荷的產生

這是控制靜電三步曲的第一步，在這凈化工作環境中，最好的措施：

（1）盡量采用性質相似器材，減少在接觸摩擦分離過程中產生靜電電荷；

（2）盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材，減少接觸摩擦分離過程產生積累靜電荷；

（3）盡量采用減少接觸摩擦分離而產生靜電荷的生產流程。

4、泄放和中和

這是控制靜電三步曲的第二步，在微電子生產的凈化室中最通常的措施是接地，采用導電性或耗散性材料泄放靜電荷，以及離子化消電器中和靜電荷。

（1）接地

潔凈室應設一個獨立靜電接地系統（包括地面接地金屬網支系統、生產線工作站接地支系統），以便室內所有設備金屬外殼、移動設備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地，以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔。