半導體無塵車間技術方案

以下半導體無塵車間的相關的技術和使用管理辦法：

1.半導體無塵車間內部要確保粉塵只出不進，因此潔凈車間室內要保持大于大氣壓的環境。這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。

2.為保持恒溫與恒濕，大型空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。

3.所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，潔凈車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃細菌等在潔凈車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。

4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。

5.所有人或事物進出潔凈車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經過風淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

6.半導體無塵車間內水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子（如鉀、鈉離子）污染金氧半晶體管結構之帶電載子信道，影響半導體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑，在半導體工業之使用量極為驚人！

7.半導體無塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣 (98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。